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Ion Implantation and Synthesis of Materials, Fachbücher von Michael Nastasi, James W Mayer
"Ion Implantation and Synthesis of Materials" ist ein Fachbuch, das sich mit der Physik und Materialwissenschaft der Ionenimplantation sowie der Modifikation von Materialien durch Ionenstrahlen beschäftigt. Es beleuchtet die entscheidende Rolle der Ionenimplantation in der Technologie integrierter Schaltungen, wo häufig mehrere Implantationsschritte erforderlich sind, um die gewünschten elektrischen Eigenschaften zu erzielen. Das Buch behandelt die Wechselwirkungen zwischen Ionen und Festkörpern, die zur Vorhersage von Ionenreichweiten, Ionenstreuung und Gitterstörungen verwendet werden. Darüber hinaus werden wichtige Themen wie die Bildung flacher Übergänge und die Verwendung von Wasserstoffionenstrahlen zum Schneiden von Silizium behandelt. Die Inhalte sind für Fachleute und Studierende der Materialwissenschaften und der Halbleitertechnologie von Bedeutung, da sie die Grundlagen und Anwendungen der Ionenstrahlverarbeitung umfassend darstellen.
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